低温等离子体技术(Low-temperature Plasma)因其多种优点和出众性能在材料处理和表面改性中表现出了领域应用。基于低温等离子体表面改性特有的性质,如反应体系处于低温,反应仅涉及材料的浅表面(纳米级),空间处理均匀性强,可处理形状复杂材料,表面处理均匀性好,在电子、化工、生物医学材料的表面改性等方面得到了广泛应用与发展,显示出了良好的应用性能。