日本则武(Noritake)现已面向光学透镜、棱镜等玻璃部件的精密加工,推出了固定砂粒式砂轮“Mirror Polyssa(音译)”(图1)。与游离砂粒和现有的固定砂粒型相比,加工面的平坦度更高。
过去在研磨此类部件时,主要以利用氧化铈化学作用的游离砂粒研磨方式为主。但这种方法难以对由游离砂粒和水混合而成的废液进行处理。同时还存在着工件端头下垂及加工速度慢的缺点。而Mirror Polyssa则属于固定砂粒型,因此既不需要对砂粒和水的浓度进行管理,还能大幅减少废液的产生。
Mirror Polyssa采用的是均匀地将砂粒分散到网状粘合剂中的结构(图2)。因此与固定砂粒型相比,不易划伤加工面。此外,通过对气孔孔径进行优化,使气孔率达到了60%以上,因此能够维持稳定的研磨性能。另外,由于砂粒会适度地发生脱落,因此在工件接近镜面效果后仍可维持研磨力。
该公司在2005年12月7日~9日于日本千叶县Messe会展中心举办的“Semicon Japan 2005”展会上,展出Mirror Polyssa。